Die Nutzungsmerkmale der Mikro-Produktionstechnik sind mit herkömmlichen Bearbeitungsverfahren nur noch bedingt zu erreichen. Daher sind zur Realisierung feinwerktechnischer bzw. mikrotechnischer Strukturen neue Verfahrenstechniken zum Einsatz zu bringen, die je stärker mikrotechnische Anwendungsbereiche tangiert werden, auf anderen Wirkprinzipien aufbauen.